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正膠產品
  1. KX3700系列通用正性光刻膠包括產品KX3731、KX3729、KX3727,它們分別適合制備膜 厚為2.4-3.3μm、2.0-2.6μm、1.6-2.1μm的光刻膠浮雕圖案。該系列產品在汞G/H線曝光條件下最佳,但在汞I線或包括近紫外或藍光的寬譜條件下也性能優良。產品對硅、氧化硅、藍寶石、金屬襯底粘附性優異,表面HMDS疏水處理一般不需要但推薦使用。使用汞G/H線步進掃描光刻機,如果膜厚為3μm該產品極限分辨率可達1μm;如使用近紫外寬譜接觸或接近式套刻機,同樣膜厚下分辨率亦可達3μm。

  2. KX5632是為干法藍寶石圖形化(DPSS)定制的一款高分辨率正性光刻膠,對藍寶石襯底有優異的粘附性能。該產品適合用于制備膜厚為2.2-2.6μm的均勻光刻膠膜。使用汞G/H/I線步進掃描光刻機,可以制備CD達0.6μm、側壁夾角近90度的光刻膠浮雕圖案。

  3. KX5321是為濕法藍寶石圖形化(WPSS)開發一款高分辨正性光刻膠,對CVD氧化硅襯底有優異的粘附性能。該產品適合用于制備膜厚為0.9-1.3μm的均勻光刻膠膜。使用汞G/H/I線步進掃描光刻機,可以制備CD達0.6μm、側壁夾角近90度的光刻膠浮雕圖案。
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